電子廠超純水設(shè)備是采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設(shè)備;是電子廠生產(chǎn)用超純水制備不可缺少的裝置.

1、離子交換方式
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點
2、雙級反滲透方式
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透 →PH調(diào)節(jié)→中間水箱→二級反滲透→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點
3、EDI方式
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透主機→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過濾器→用水點

電子行業(yè)是使用超純水最多的工業(yè)領(lǐng)域之一，電子工廠在生產(chǎn)及清洗過程中使用超純水，超純水水質(zhì)是影響產(chǎn)品品質(zhì)的關(guān)鍵。但是超純水系統(tǒng)在使用過程中會由于設(shè)備老化、生產(chǎn)線擴大超純水跟不上等因素需要對超純水系統(tǒng)進行維修升級。